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实现高纯前驱体材料的批量生产
TDMAHf

四(二甲胺基)铪

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TEMAHf

四(甲乙胺基)铪

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CpHf

三(二甲胺基)环戊二烯基铪

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HfCl4

四氯化铪

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TEMAZ

四(甲乙胺基)锆

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CpZr

三(二甲胺基)环戊二烯基锆

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ZrCl4

四氯化锆

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Star-Ti

三甲氧基(五甲基环戊二烯基)钛

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TMA

三甲基铝

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La(FAMD)3

三(N,N'- 二异丙基甲脒基)镧

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TBTDEN

叔丁亚胺基三(二乙胺基)铌

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CpNb

(叔丁亚胺基)双(二甲胺基)环戊二烯基铌

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