实现高纯前驱体材料的批量生产
液体输送系统（LDS）简介
液体供应系统 (Liquid Delivery System; LDS)，是一种将半导体制造过程中所需的前驱体材料输送至工艺设备的输送设备，通过采用合适的载气（carrier gas）在一定压力下实现液体前驱体材料的稳定输送。
可能适用于前驱体材料包括：
● BPSG processes: TEOS, TEPO, TEB…
● Low-k dielectrics: 4MS, TMCTS, OMCTS, DEMS, ATRP…
● High-k dielectrics: CpZr, CpHf, TMA…
● Low-T SiN/SiO: HCDS, BTBAS, BDEAS, DIS, DIPAS…
● Barrier & Metal: TiCl4, TDMAT…
液体输送系统（LDS）
LDS系统特点
● 基于PLC控制的全自动系统
● 采用触摸显示器，实现便捷操作
● 根据以下特性安装了安全装置（前驱体材料压力、火焰、烟雾、温度等）
● 联锁以防止篡改
● 系统错误和报警历史记录
● 支持与工艺设备的通信（多种形式通讯模式）
● 依据需要采用防爆设计
● 依据需要配备CO2或其他灭火装置
系统认证
● CE 认证
● 符合SEMI S2 认证
PCDSTM LDS
全自动操作系统
稳定工艺控制系统
全方位安全保障措施
符合防火要求的柜体外壳
PCDSTM LDS系列产品开发历程
BCDS
型号：A3D-35oS
介质：TMA
配置：300Kg*双瓶
应用：光伏电池TopCon
BCDS
型号：A3D-250C
介质：TEOS
配置：25OKG*双瓶
应用：外延
DLDS
型号：A1D
介质：TiCl/BDEAS/BTBAS/DIPAS
配置：19L*双瓶
应用：ALD/CVD薄膜
QLDS
型号：A1S
介质：HCDS/TMA/...
配置：4-19L*单瓶
应用： ALD/CVD薄膜
QLDS
型号：A2D-P
介质： TDMAT/TEMAZ/CpZr/CpHf/...
配置：4-19L*双瓶+溶剂清洗
应用：ALD/CVD薄膜，Diffusion
超高纯液态前驱体材料输送设备-LDS
a. 2.5mm厚封闭式全钢烤漆柜
● 大面积可视防爆玻璃
● Ø150mm不锈钢可调式排风
● 自闭式安全门，可上锁管理；底部进风调节
b. 内置多点安全监控装置
● 内置多点安全监控装置
● 液体泄漏侦测器
c. 全容积防漏盘
d. 基于PLC控制的全自动控制箱
e. 紧凑型控制盘面，最多至4路工艺出口
f. 双瓶设计（源瓶+工艺缓冲瓶），可调式钢瓶支架，兼容不同规格
g. 高精度电子称，与罐液位计形成冗余设计
h. 最合适占地尺寸（ W700mm x D1100mm x H2050mm)
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