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完善的前驱体合成及放大实验室，配备先进的化学材料表征设备，如气相，液相，ICP-MS等，为我们向客户提供国际水平的产品保驾护航。








合成实验室







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                    手套箱                   通风橱、旋蒸                   气相、液相                  ICP-MS








放大实验室






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                  50L釜                   精馏塔                   干燥箱                气体管路
















薄膜应用开发实验室使用千级净化间，拥有多台原子层沉积及薄膜表征设备，同时广泛开展与高校及企业的合作，资源组合优化，使我们能够为客户提供从薄膜工艺开发到器件整合优化等单项服务或整体解决方案








应用开发实验室






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                   椭偏仪                   FT-IR                   PEALD系统                  气体输送系统








外部设备平台






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                   XRD/XRR                       AFM                       XPS                    UV-Vis





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