前驱体合成及放大实验室,配备先进的化学材料表征设备,如气相,液相,ICP-MS等,为我们向广大客户提供国际水准的产品保驾护航。

合成实验室
ICP-MS
气相、液相
通风橱、旋蒸
手套箱
放大实验室
气体管路
精馏塔
干燥箱
50L釜


薄膜工艺及应用开发实验室使用千级净化间,拥有多台原子层沉积及薄膜表征设备,同时广泛开展与高校及企业的合作,资源组合优化,使我们能够为客户提供从薄膜工艺开发到器件整合优化等单项服务或整体解决方案

应用开发实验室
气体输送系统
PEALD系统
椭偏仪
FT-IR
外部设备平台
UV-Vis
XPS
AFM
XRD/XRR
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